Piezoschichten

Pb(Zr,Ti)O3)-Dünnschichten mit einer Schichtdicke um 2 µm werden auf kostengünstigen Stahlsubstraten mit einer Dicke von 10 bis 400 µm über ein spezielles Sol-Gel-Tauchbeschichtungs-verfahren aufgebracht. Diese sehr flexiblen piezoelektrischen Dünnschichtelemente können großflächig und sehr kostengünstig hergestellt werden und als sehr sensitive (50 mV bei 5 N Betätigungskraft) und robuste Schalter in Gehäuse integriert werden. Sie sind im Temperaturbereich von -40 bis 120°C einsetzbar und widerstehen auch höchsten mechanischen Belastungen.