Flankierend wurden erste Untersuchungen zu zuverlässigkeitsrelevanten Eigenschaften durchgeführt. Von besonderem Interesse sind die Hochtemperaturbeständigkeit und die mechanische Festigkeit. Für die Hochtemperaturbeständigkeit wurde ein Prüfstand aufgebaut, der die Proben mittels elektrischen Stroms beheizt und somit in der Lage ist, auch schnelle Temperaturwechsel bis auf 1200°C zu realisieren (Abb. 1).
Für die Bestimmung der mechanischen Festigkeit ist in Kooperation mit der ISYS GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer LBF, eine an die geringe Größe der Proben angepasste 4-Punkt-Biege-Prüfmaschine entwickelt und aufgebaut worden (Abb. 4). Durch die Verwendung von Piezoaktoren und einer mechanischen Vorspannungseinrichtung ließen sich die Versuche einfacher durchführen als mit vorhandenen Prüfmaschinen. Dies gewährleistete eine gute Reproduzierbarkeit der Prüfungen. Aufgrund der gelungenen Prüfversuche und des erwarteten Potenzials wird die Prüfumgebung hinsichtlich größerer Kräfte, Stellwege und Frequenzbereiche weiterentwickelt. Erste Ergebnisse der Festigkeitsmessungen an piezoresistiven SiOC-Proben sind in Abb. 5 dargestellt.